硬化涂層膜厚儀是一款快速、準(zhǔn)確測量薄膜表征應(yīng)用的模塊化解決方案，要求的光斑尺寸小到幾個(gè)微米，如微圖案表面，粗糙表面及許多其他表面。它可以配備一臺計(jì)算機(jī)控制的XY工作臺，使其快速、方便和準(zhǔn)確地描繪樣品的厚度和光學(xué)特性圖。

 

　　工作原理：

　　本產(chǎn)品采用電磁感應(yīng)法測量涂層的厚度。位于部件表面的探頭產(chǎn)生一個(gè)閉合的磁回路，隨著探頭與鐵磁性材料間的距離的改變，該磁回路將不同程度的改變，引起磁阻及探頭線圈電感的變化。利用這一原理可以精確地測量探頭與鐵磁性材料間的距離，即涂層厚度。

　　硬化涂層膜厚儀的符合以下執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)：

　　GB/T 4956-1985 磁性金屬基本上非磁性覆蓋層厚度測量（磁性方法）；

　　JB/T 4957-1985 磁性和渦流式覆層厚度測量儀；

　　JJG 889-95《磁阻法測厚儀》；

　　GB/T 4957-1985 非磁性金屬基體上非導(dǎo)電覆層厚度測量（渦流方法）；

　　JJG 818-93《電渦流式測厚儀》；

 

　　主要特點(diǎn)：

　　1、硬化涂層膜厚儀具有電源欠壓指示功能；

　　2、操作過程有蜂鳴聲提示；

　　3、具有存貯功能：可存貯300個(gè)測量值；

　　4、可設(shè)置限界：對限界外的測量值能自動報(bào)警；

　　5、具有兩種測量方式：連續(xù)測量方式和單次測量方式；

　　6、具有兩種工作方式：直接方式和成組方式；

　　7、設(shè)有五個(gè)統(tǒng)計(jì)量：平均值、最大值、最小值、測試次數(shù)、標(biāo)準(zhǔn)偏差；

　　8、可進(jìn)行零點(diǎn)校準(zhǔn)和二點(diǎn)校準(zhǔn)，并可用基本校準(zhǔn)法對測頭的系統(tǒng)誤差進(jìn)行修正；

　　9、具有刪除功能：對測量中出現(xiàn)的單個(gè)可疑數(shù)據(jù)進(jìn)行刪除,也可刪除涂層測厚儀存貯區(qū)內(nèi)的所有數(shù)據(jù)，以便進(jìn)行新的測量；

　　10、具有與PC機(jī)通訊的功能：可將測量值、統(tǒng)計(jì)值傳輸至PC機(jī)，以便涂層測厚儀對數(shù)據(jù)進(jìn)行進(jìn)一步處理。