當前位置:首頁 > 產品中心 > EVG納米壓印機 > UV-NIL/SmartNIL紫外壓印 > EVG720自動化SmartNIL紫外納米壓印光刻系統
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Product Category詳細介紹
EVG720 系統利用 EVG 創新的 SmartNIL 技術和材料專業知識,實現微米級和納米級結構的大規模制造。EVG720 系統采用 SmartNIL 技術,能夠在大面積上打印小至 40 nm* 的納米結構,具有較大的吞吐量和較低的擁有成本,非常適合下一代微流控和光子器件(如衍射光學元件 (DOE))的批量生產。
*分辨率取決于工藝和模板
特點
· 具有復制保真度的批量驗證印記技術
· 成熟的SmartNIL技術與多用途聚合物沖壓技術®
· 集成壓印,UV固化脫模,和工作印章制作
· 自動磁帶到磁帶處理加上半自動化的研發模式
· 可選的頂部對齊
· 可選的迷你環境
· 開放平臺的所有商業可用的印記材料
· 從研發到生產的可擴展性
· 系統外殼,最佳的過程穩定性和可靠性
技術數據
晶圓直徑(襯底尺寸):75至150毫米
分辨率:≤ 40 nm(分辨率取決于模板和工藝)
過程支持:SmartNIL®
曝光源:大功率LED(i-線)> 40mW/cm2
對齊:可選頂部對中
自動分離:支持
迷你環境和氣候控制:可選
工作印章制作:支持
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