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簡要描述:適用于光學(xué)、工業(yè)和半導(dǎo)體市場的高速、中精度、經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的表面輪廓儀,納米分辨率彩色共聚焦傳感器(可配制點(diǎn)和線傳感器),為在線過程測量和控制而設(shè)計,結(jié)構(gòu)緊湊,易于上下片和操作,可配制成獨(dú)立系統(tǒng)(X/Y/Z) 和附加升級至LAS (C/R/Z),多種樣品處理能力
產(chǎn)品分類
Product Category詳細(xì)介紹
•適用于光學(xué)、工業(yè)和半導(dǎo)體市場的高速、中精度、經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的表面輪廓儀
•納米分辨率彩色共聚焦傳感器(可配制點(diǎn)和線傳感器)
•為在線過程測量和控制而設(shè)計
•結(jié)構(gòu)緊湊,易于上下片和操作
•可配制成獨(dú)立系統(tǒng)(X/Y/Z) 和附加升級至LAS (C/R/Z)
•多種樣品處理能力
–單一數(shù)控加工的非球面透鏡( ?可達(dá)100mm)
–托盤中的小型模塑透鏡
–自由曲面光學(xué)器件(無旋轉(zhuǎn)對稱) 半導(dǎo)體,MEMs,LED,OLED,光子晶圓
特點(diǎn):
•可在納米分辨率下測量大的臺階高度(>1mm)
•適用于較大和較重的零件、不規(guī)則幾何形狀
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