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非接觸式高精度位移測量,位移傳感器的技術突破與應用實踐
2025-05-09

位移傳感器作為工業自動化與精密制造的核心組件,其非接觸式高分辨率近距離測量技術正推動制造業向智能化、高精度方向演進。基于電容、激光、電磁等原理的非接觸式傳感器,通過消除機械磨損與環境干擾,實現了亞微米級位移測量,廣泛應用于半導體加工、航空航...

  • 2023-01-08

    光刻機應用的光刻技術是將二維圖案轉印到平坦基板上的方法。可以通過以下兩種基本方法之一實現圖案化:直接寫入圖案,或通過掩模版/印章轉移圖案。限定的圖案可以幫助限定襯底上的特征(例如蝕刻),或者可以由沉積的圖案形成特征。通過計算機輔助設計(CAD)定義圖案模式。多數情況下,這些特征是使用抗蝕劑形成的,可以使用光(使用光致抗蝕劑),電子束(使用電子束抗蝕劑)或通過物理沖壓(不需要抗蝕劑,也叫納米壓印)來定義圖案特征。圖案的特征可以被轉移到另一個層蝕刻,電鍍或剝離。光刻機的用料:1、...

  • 2023-01-06

    光刻機就是把芯片制作所需要的線路與功能區做出來。利用光刻機發出的光通過具有圖形的光罩對涂有光刻膠的薄片曝光,光刻膠見光后會發生性質變化,從而使光罩上得圖形復印到薄片上,從而使薄片具有電子線路圖的作用。這就是光刻機的作用,類似照相機照相。照相機拍攝的照片是印在底片上,而光刻刻的不是照片,而是電路圖和其他電子元件。光刻機技術是一種精密的微細加工技術。常規光刻技術是采用波長為2000~4500埃的紫外光作為圖像信息載體,以光致抗光刻技術蝕劑為中間媒介實現圖形的變換、轉移和處理,然后...

  • 2023-01-06

    光刻機,這是一個全新已經被生產廠家驗證過的新型光刻曝光設備。它以及晶圓對晶圓(W2W)接合曝光和測試系統,可滿足用戶對更高光刻精度的需求。業內向更小結構和更密集封裝生產轉型的趨勢帶來了眾多的新挑戰,如對更高精度的要求,因為這將嚴重影響設備的偏差律,并最終影響生產效率和增加成本。光刻機可較大提高對準精度-范圍從1微米至0.1微米-從而為生產廠家在先進微電子、化和物半導體、硅基電功率、三維集成電路和納米等幾乎所有相關產業提供了解決方案。光刻機增加了對準精度,該系列包括了光刻機、對...

  • 2022-12-30

    晶圓鍵合自動系統匯集多項技術突破,令半導體行業向實現3D-IC硅片通道高容量生產的目標又邁進了一步。新系統晶圓對晶圓排列精度是過去標準平臺的三倍,生產能力更是比先前高出50%,此外GEMINIFBXT平臺還為半導體行業應用3D-IC及硅片通道技術掃清了幾大關鍵障礙,使半導體行業能夠在未來不斷提升設備密度,強化設備機能,同時又無需求助于越發昂貴復雜的光刻工藝技術。晶圓對晶圓鍵合自動系統是激活諸如堆疊式內存,邏輯記憶以及未來互補金屬氧化物半導體圖像感應器等3D裝置的一個關鍵步驟。...

  • 2022-12-26

    EV集團(EVG)是面向MEMS,納米技術和半導體市場的晶圓鍵合機和納米壓印機的先進供應商,今天宣布,它已與先進的技術集團之一的肖特(SCHOTT)合作在特種玻璃和玻璃陶瓷領域,證明了12英寸納米壓印光刻技術(NIL)已準備好用于制造波導/光的高折射率(HRI)玻璃晶片的大量圖案下一代增強/混合現實(AR/MR)耳機指南。此次合作涉及EVG公司專有的SmartNIL納米壓印工藝和SCHOTT的RealView高折射率玻璃晶片,并且將EVG的NILPhotonics內開展在公司...

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