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非接觸式高精度位移測量,位移傳感器的技術突破與應用實踐
2025-05-09

位移傳感器作為工業自動化與精密制造的核心組件,其非接觸式高分辨率近距離測量技術正推動制造業向智能化、高精度方向演進。基于電容、激光、電磁等原理的非接觸式傳感器,通過消除機械磨損與環境干擾,實現了亞微米級位移測量,廣泛應用于半導體加工、航空航...

  • 2022-11-14

    在過去的40年,我們發展成為隔振臺的供應商,并在此領域積累了豐富的經驗。與此同時,測量技術有了很大的進步,一些靈敏的設備會受被動式隔振臺中低頻共振頻率的干擾,只有主動式隔振臺能消除此類干擾。因此,我們在被動式隔振臺產品之外,補充了由瑞士TableStableLtd.開發的先進主動式隔振臺。隔振臺的描述:調整腳,焊接鋼框架。1、薄膜空氣彈簧BiAi產處于框架和需要隔振的平臺之間(垂直固有頻率2.3Hz)2、機械氣動定位控制(精度土1/lOOmm或土1/lOmm)特點:1、固有振...

  • 2022-11-09

    Thetametrisis膜厚測量儀用于氧化釔(Y?O?)涂層厚度測量。它可快速準確地繪制大型氧化鋁陶瓷圓盤上的抗等離子涂層Y?O?層厚度。下面我們來看看用Thetametrisis膜厚測量儀測量氧化釔(Y?O?)涂層厚度的具體情況。Thetametrisis膜厚測量儀測量氧化釔(Y?O?)的案例分析:氧化釔(Y?O?)是一種非常有前景抗等離子涂層材料,且在集成電路中特征尺寸的持續減小應用在化學機械拋光后的高度平整工藝用作化學機械平面化(CMP)的磨料,具有獷泛的應用范圍。氧...

  • 2022-11-01

    硅片厚度測量儀是采用紅外干涉技術的一款測量儀器。它能夠精確測量硅片厚度和測量TTV總厚度變化,也能實時測量超薄晶圓厚度(掩膜過程中的晶圓),硅片厚度測試儀非常適合晶圓的研磨、蝕刻、沉淀等厚度測量應用。硅片厚度測量儀具有突出優勢,諸多材料例如Si、GaAs、InP、SiC、玻璃、石英以及其他聚合物在紅外光束下都是透明的,非常容易測量,標準的測量空間分辨率可達50微米,更小的測量點也可以做到。目前,儀器可廣泛用于MEMS、晶圓、電子器件、膜厚、激光打標雕刻等工序或器件的測量。該硅...

  • 2022-10-24

    電容式位移傳感器基于平板電容原理。電容的兩極分別是傳感器和與之相對的被測物體。如果有穩定交流電通過傳感器,輸出交流電的電壓會與傳感器到被測物體之間的距離成正比關系,從而可以通過測量電壓的變化得到距離信息。電容位移傳感器是一種非接觸電容式原理的精密測量儀器,具有一般非接觸式儀器所共有的無磨擦、無損磨特點外,還具有信噪比大,靈敏度高,零漂小,頻響寬,非線性小,精度穩定性好,抗電磁干擾能力強和使用操作方便等優點。實際應用當中電容式傳感器可以實現近乎的線性測量。但是,電容傳感器要求探...

  • 2022-10-19

    顯微鏡秒變光刻機!--顯微鏡LED曝光單元電子顯微鏡和光刻機,兩個看上去風馬牛不相及的東西,是如何結合到一起的?我們向您介紹一款無掩膜顯微鏡LED曝光單元UTA-3A-53M,能令顯微鏡秒變光刻機!該設備是一種具有高性價比的曝光裝置,其DLP固定在顯微鏡的三目鏡部分,而照相機則固定在目鏡部分。可以將專用程序產生的圖案投影并在顯微鏡下曝光在樣品上。<特征>?顯微鏡LED曝光單元UTA系列是用于光刻的無掩模圖案投影曝光設備。?使用金屬顯微鏡和LED光源DLP投影儀,將分辨率為幾μ...

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