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非接觸式高精度位移測量,位移傳感器的技術突破與應用實踐
2025-05-09

位移傳感器作為工業(yè)自動化與精密制造的核心組件,其非接觸式高分辨率近距離測量技術正推動制造業(yè)向智能化、高精度方向演進。基于電容、激光、電磁等原理的非接觸式傳感器,通過消除機械磨損與環(huán)境干擾,實現(xiàn)了亞微米級位移測量,廣泛應用于半導體加工、航空航...

  • 2021-11-06

    翹曲度,用于表述平面在空間中的彎曲程度,在數(shù)值上被定義為翹曲平面在高度方向上距離最遠的兩點間的距離。絕對平面的翹曲度為0。翹曲變形是評定產(chǎn)品質(zhì)量的重要指標之一。對于相同翹曲影響模式的同一產(chǎn)品時,這些指標可以描述不同設計的翹曲變形的大小程度。但對于不同材料、模具結構等造成翹曲變形的影響模式改變的因素,不同設計下各部分的翹曲變形嚴重程度也隨之改變。美國FSM高溫薄膜應力及翹曲度測量儀具有哪些特殊功能?1、多重導向銷設計,手動裝載樣品,有優(yōu)異的重復性與再現(xiàn)性研究。2、優(yōu)異的分辨率—...

  • 2021-10-28

    輪廓儀,是一種常用的測量工具,用于精確復制和測量不規(guī)則物體的輪廓形狀。它廣泛應用于木工、金屬加工、裝修和模具制造等領域。本文將詳細介紹輪廓儀的使用方法和注意事項,以幫助讀者更好地掌握這一實用工具。一、輪廓儀的使用方法1.準備工作:在使用儀器之前,確保物體表面干凈,無塵和雜質(zhì),以免影響測量結果。2.調(diào)節(jié)高度:根據(jù)待測物體的高度,通過旋鈕將基座調(diào)節(jié)到合適的高度,使針頭能夠接觸到物體表面。3.復制輪廓:將儀器平放在待測物體上,確保針頭接觸物體表面,并輕輕滑動儀器,使針頭按照物體曲線...

  • 2021-10-23

    橢偏儀通過測量光在介質(zhì)表面反射前后偏振態(tài)變化,獲得材料的光學常數(shù)和結構信息,具有測量精度高、非接觸、無破壞且不需要真空等優(yōu)點。橢偏儀的選購指南:1、根據(jù)研究或測試的材料特性來確定光譜范圍,進一步選擇適合光源的橢偏儀。對于透明材料,考慮關心的折射率光譜區(qū)域;對于短波吸收、長波透明材料,如果關心吸收區(qū)域折射率及膜厚可擴展到紅外透明區(qū)域來先確定薄膜厚度,然后求解折射率。2、入射角方式選擇。橢偏儀多角度測量可以增加可靠性,但不是總有必要。多角度Z適用于以下幾種場合:多層膜結構、吸收膜...

  • 2021-10-19

    橢偏儀/橢圓偏振儀是一種用于探測薄膜厚度、光學常數(shù)以及材料微結構的光學測量儀器。現(xiàn)在已被廣泛應用于材料、物理、化學、生物、醫(yī)藥等領域的研究、開發(fā)和制造過程中。基本原理:橢偏儀的原理主要依賴于光的偏振現(xiàn)象。當光線通過某些物質(zhì)時,其偏振狀態(tài)會發(fā)生變化。橢偏儀利用這一特性,通過精確控制入射光的偏振態(tài),并測量經(jīng)過樣品后光的偏振態(tài)變化,進而分析樣品的性質(zhì)。橢偏法測量具有如下特點:1.能測量很薄的膜(1nm),且精度很高,比干涉法高1-2個數(shù)量級。2.是一種無損測量,不必特別制備樣品,也...

  • 2021-10-15

    Filmetrics3D光學輪廓儀是用于對各種精密器件表面進行納米級測量的儀器,它是以白光干涉技術為原理,光源發(fā)出的光經(jīng)過擴束準直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束,一束經(jīng)被測表面反射回來,另外一束光經(jīng)參考鏡反射,兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉,顯微鏡將被測表面的形貌特征轉化為干涉條紋信號,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。Filmetrics3D光學輪廓儀具有3倍於于其成本儀器的次納米級垂直分辨率,Profilm3D同樣使用了現(xiàn)今高分辨率之光學輪廓儀的測量技術包含垂直掃描干涉(V...

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